第(3/3)页

    这激光器供电模块，现在已经超越了他们激光所，正在攻坚的课题。

    难不成还真能达到680kw？

    那也太疯狂了吧。

    汪洪涛同样心中激动。

    他吃了一把速效救心丸，这才深吸一口气，继续下令道：“提升到300KW！”

    很快……

    “稳定！”

    实验工作人员，激动的声音中都在颤抖。

    “400KW！”

    “稳定！”

    “500KW！”

    “稳定！！”

    实验室内，爆发出沸腾般的欢呼声。

    500KW的稳定输出功率，已经足够让光源从193纳米的短波紫外线，提升到13．5纳米的极紫外线！

    也就是说，这项技术不仅是激光器供电模块的提升，甚至还直接影响到了最先进极紫外光刻机的研究！

    一时间，众人仿佛还在梦中，幸福来的太过突然。

    汪洪涛的心怦怦直跳，一手捏着速效救心丸的瓶子，颤抖地对刘丽开口问道：“小刘，对方自称他这个激光器最大功率是多少？”

    刘丽如梦初醒，连忙颤抖着回答道：“他……他说是680KW！”


    第(3/3)页